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石墨电极不适用于半导体器件材料制造

时间:2023-04-03 15:03:31 点击:338次

石墨电极导电性不适合做半导体材料:石墨电极有机质含量较高,同时也有多种的碳化物晶体形态;半导体器件材料需要复杂的多电极结构,才能具有良好的导电性和化学稳定性;由于石墨电极含有多种杂质元素,对导电性影响较大;导电性能是二维材料的基本性能,各个方向的导电性差异很大,尤其是掺杂的金属耗尽层在导电性和寿命上有较大差别,导电性能的好坏与掺杂金属颗粒的大小和颗粒上集流体的疏密有很大关系。

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难说,你可以看看中科院的一个工作,对225号碳基阳极材料进行染色,对半导体电极和石墨氧化物接触起到了很大影响,原理大概就是通过高电流密度给阳极氧化物破坏性电子加速,,染色后阳极氧化物接触半导体,通过被破坏掉的电子压向半导体,从而达到截面积缩小的作用,,此电子压迫的半导体很容易在电极材料表面存在金属蒙板。另外跟石墨硫化物的接触也有很大的作用,相当于相互吸附,,缩小两端接触面积。

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外延途径分的比较细,我不清楚你是想外延哪方面,是原料导入过程,过程要求高,不仅有良好的导电性还要导电性差,这样整个外延系统好,等等。估计你的意思是对外延导电性差。石墨电极目前性能最好的大概是14nm工艺,主要在电子器件,半导体器件的石墨导电性并不好。

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